设备能力:形貌、能谱点扫、能谱线扫、能谱面扫(mapping)、EBSD、CL、TKD
样品要求:导电性良好,粉末,块体薄膜均可,磁性样品需要提前说明,强磁性无法测试。
样品导电性不好是需要喷金或者喷碳。
案例: