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二次离子质谱(SIMS)
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发布日期:2022-04-06
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详细介绍

设备能力:深度分析,定量分析

样品要求:

1. 制样说明

1)薄膜、片状、块体:长×宽尺寸约10 mm × 10 mm~12 mm × 12 mm,厚度不大于5mm

2)粉末样品最好压片后送样。压片时使用清洁的铝箔包裹粉末样品,以避免在加压过程样品表面被污染,压片后的尺寸要求见(1)条。

2. 样品要求

1)尽量保持样品上下表面平整(尤其待测面,越平整越好);

2)通过溶液涂膜方法制备薄膜样品时,最好使用表面平整的导体或半导体作为衬底,例如:Si片, 镀金的Si片,或银片等。

案例: