设备能力：
气源有BCl3、Cl2、HBr、Ar、O2、H2、CH4、N2、SF6、CHF3、He、C4F8
样品要求：
1. 材料：硅、III-V族、SiO2、SiN、金属
2. 尺寸：4英寸以内
案例：