设备能力：
从光源上看： UPS较XPS能量分辨率的提高，决定了用UPS可以检测到价带谱更精细的结构；从激发截面看：用紫外线激发较X-ray激发外层电子有更大的散射截面，这代表UPS检测价带谱较XPS检测价带谱有更高的计数比，通常情况下PHI公司的UPS计数为Mcps，而用XPS则只有几百cps；从检测深度来看：UPS激发的价带电子动能较XPS激发的电子动能小，所以信息来源深度更浅。总之对表面状态更加敏感；综上，UPS较XPS更适合得到材料的价带谱结构
样品要求：
1、样品状态：薄膜，样品平面尺寸一般要求5*5mm，最大不超过8*8mm，可以为正方形或者长方形，厚度最好不要超过1mm，样品要求具有一定导电性。
2、粉体样品需要制备为薄膜，具体制备方法及要求如下：先把粉末样品分散在水或乙醇里（浓度尽量低点），滴在硅片上烘干，可以多循环几次，一定要保证膜表面尽量平整、均匀、连续、整洁，硅片尺寸5*5mm-5*8mm，厚度几百μm，涂完膜干燥后膜层以完全覆盖住硅片即可（膜层厚度10-50nm即可），膜层的电阻最好小于10兆欧，最大不能超过30兆欧。
案例：
