设备能力:
用于半导体材料或块体材料(薄层电阻)的专用仪器;可用于测试硅晶片及扩散层、外延层、ITO导电薄膜、金属薄膜等材料的电阻和方块电阻。
1、固体导体的电阻率可以通过欧姆定律和电阻定律测量;
2、测试得到的电阻可以通过换算得到电导率;
3、电导和电阻的关系,如果R是电阻(单位欧姆Ω),电导为G(单位西门子S),则:G = 1/R;
4、电阻=方阻x膜厚;
样品要求:
1.粉末样品需压片测试,质量大于50mg 或者体积大于2-3ml;
2.薄膜,提供准确膜厚,厚度均匀;
3.块体上下平行,最好抛光处理;
4.常温样品尺寸直径或者长度最少10mm;
5.变温样品尺寸小于10x10mm,厚度大于0.3mm小于2mm;
6.表面整洁,不污染探针;
案例: