设备能力：
曝光精度正负0.5μm，可双面曝光，最小线宽1um，最大可以做4英寸的片子，可以做小片。
样品要求：
不超过4英寸的整片
案例：
步进式曝光
最小线宽500nm，6英寸片子以内，曝光比例5:1
4~6英寸硅片，光刻板要求5英寸。